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製程冷卻水系統(Process Cooling Water ,PCW),利用低溫的水來冷卻儀器設備的高溫,循環帶走設備產生的熱,也可以作為無塵室內空間控制溫度所需之冰水供應。若有各種設備規劃問題歡迎隨時聯絡我們

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pcw 製程冷卻
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PCW system pcw for sputter
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