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PCW(PROCESS COOLING WATER )就是製程冷卻水,主要供給生產設備做為冷卻的,一般要求溫度不能太低,溫度控制要求在16℃~22℃。若溫度控制過低,在潔淨室裏濕度比較高情況下,會出現設備結露現象;若溫度過高則達不到設備冷卻的要求。通常使用RO水或軟水來做水源。