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併裝局部(微環境)無塵室(Mini-environment)


將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用。潔淨工作台(Clean Bench)、潔淨工作棚(Clean Booth)、潔淨風櫃(Clean Hood)即屬此類。潔淨工作棚,為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑膠布圍成一小空間,採用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空,一般其等級為10~1,000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10M2以下,四支支柱並加裝活動輪,可為彈性運用。

水平層流無塵室