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層流式(Laminar):

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率35%-100%之過濾器進入室內,並由高架地板或兩側隔牆版回風,此型式適用於無塵室等級需求較高之環境使用,一般其無塵室等級為Class1~100。此型式可分為二種:水平層流式及垂直層流式。水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回系統回風,塵埃隨風向排於室外,一般在下流側污染較嚴重,其優點是構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。缺點則為建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。垂直層流式房間天花板以HEPA過濾器或FFU(Fan Filter Unit)覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其他工作區域,其優點為管理容易,運轉開始短時間內即可達到穩定狀態,不易為作業狀態或者作業人員所影響;缺點是構造費用亦較高,彈性運用空間較困難,天花板上吊架佔相當大空間,維修更換過濾器較麻煩。

層流無塵室 HEPA